В последнее время в микроэлектронике появилось новое направление – микромеханические дисплеи с матрицей отражающих зеркал, смонтированной на осцилляторах. Ученые, разрабатывающие микроэлектромеханические системы (МЭМС), делают их, в основном, на кремниев... |
|